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300mm直径相关论文
300 mm直径硅外延片均匀性控制方法
随着摩尔定律的逐步实现,大直径硅片的应用规模逐渐扩大,然而,大直径硅外延片的片内均匀性成为了外延的主要问题之一.使用具有五路......
期刊
300 mm直径
硅外延片
五路进气结构
厚度均匀性
电阻率均匀性
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